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设备功能
Taro-9090晶圆级金球植球机,是自动上下料,自动定位,自动吸取金球,自动超声植球的一款批量型植金球设备。可取代代价昂贵的电镀金凸点及金丝打金球等工艺。
设备特长
1. 从φ30μm到100μm金球球,均可对应,规格外可做实验验证。
2. 装入方式是吸着金球的方式,植球后共面性极佳。
3. 吸头治具可以单独定制,满足各种形式的LAYOUT方式
4.采用标准机构,实现了维护的简易化。
主要技术参数 SPECIFICATIONS
装置型号 |
Taro-9090 |
晶圆尺寸 |
4 inch 6inch 8inch 12inch 也可对应单颗芯片 |
球 径 |
φ30μm~100μm(规格外可实验验证) |
最小球间距 |
30μm(φ30μm Ball) |
外形尺寸 |
2200W × 1465D × 1800H[mm] |
重 量 |
约1500kg |
设备图片