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一、 概述:
利用一束极细的激光束打在厚、薄膜电阻上,通过对电阻体气化蒸发实现厚、薄膜电路的切割。激光束按计算机预定的程序切割厚、薄膜电阻,通过改变厚、薄膜电阻的几何形状从而改变电阻的阻值。
二、 应用:
主要应用于厚膜、薄膜电路的精密调节。广泛应用于
a.厚膜混合集成电路
b. 电子元器件
c.汽车电器
d.传感器
e.军工科研
f.片式电阻等行业
三、 特点:
1.调阻效率高:调阻速度相对国内其它激光调阻产品高出4-10倍,产能大大提升,单位成本下降。
2.调阻精度高:独特的测控技术,测量控制系统精度的一致性好,提升产品附加值;成品率高,单位成本下降。
3.软件可编程:可轻松实现客户的不同需求以及高自动化运行,也可作为专门的测试平台,适应性广。
4.使用成本低:采用了最先进的激光器,无耗材,使用成本最低,长期使用节约大量的费用。
5.多功能:可实现陶瓷基片的激光划线、打标,减少设备的再投入。
6.稳定性好:专业大理石基座,可有效减小工作台启动、停止和加速过程中产生的震动,同时保持机台温度的稳定性,可靠性高。
四、 主要技术参数:
激光系统 |
型号规格 |
LT7130 |
激光波长 |
1064nm |
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激光功率 |
10W |
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典型光斑尺寸 |
35±5μm |
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对焦方式 |
自动,计算机程序控制 |
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冷却方式 |
风冷 |
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测量系统 |
电阻测量方式 |
四线制测量或二线制测量 |
电阻测量精度 |
中阻±0.02% |
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电阻测量范围 |
0.1Ω-100MΩ |
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测量速度 |
25μs/次 |
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零点及满程误差校正 |
自动校正 |
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探针定义 |
可编程任意设定 |
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探针板运动 |
自动,计算机程序控制 |
激光束定位系统 |
激光束运动范围 |
60mm×60mm |
运动分辨率 |
0.76μm |
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重复定位精度 |
±2.5μm |
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分步重复运动系统 |
运动方式 |
空气悬浮运动,无摩擦力 |
运动范围 |
290mm×260mm |
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重复定位精度 |
±1μm |
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最大运动速度(空载) |
900mm/s |
五、 样品展示